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RF 발생기 교정
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대부분의 장치와 마찬가지로 RF 발생기의 교정은 정확성을 유지하고 공통 경로(추적성)에 대한 정확성을 준수하며 정기적으로 적절한 작동을 보장하는 데 필요합니다. Advanced Energy는 도구가 있는 현장에서 RF 발생기를 정밀하게 교정하기 위한 RF 전력계를 제공합니다. 당사의 5500 시리즈 RF 파워 미터에는 디스플레이가 내장되어 있으며 반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 여러 주파수 지점에서 교정하여 필요한 센서 및 장비 수를 최소화할 수 있습니다.
첨단 반도체에는 정밀한 측정이 필요합니다
더 미세한 기하학적 구조와 더 조밀한 회로에는 정밀한 RF 전력 제어가 필요합니다. 주기적인 점검과 교정을 통해 RF 발생기를 유지관리하면 최고의 성능을 발휘할 수 있습니다. 고전력 RF 생성 및 측정에 대한 Advanced Energy의 전문 지식은 공정 제어의 일관성과 반복성의 핵심입니다. 당사의 5500 시리즈 RF 파워 미터의 교정은 ISO17025 인증을 받았으며 뛰어난 정확성을 위해 Advanced Energy 열량계로 추적 가능합니다.
