Kalibrierung von RF-Generatoren
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Die Kalibrierung von RF-Generatoren dient wie bei den meisten Geräten dazu, die Genauigkeit aufrechtzuerhalten und sie auf einen gemeinsamen Pfad auszurichten (Rückverfolgbarkeit) und regelmäßig einen ordnungsgemäßen Betrieb sicherzustellen. Advanced Energy bietet RF-Leistungsmesser zur präzisen Kalibrierung von RF-Generatoren vor Ort, wo sich das Werkzeug befindet. Unsere RF-Leistungsmesser der Serie 5500 verfügen über ein integriertes Display und können an mehreren in der Halbleiterindustrie häufig verwendeten Frequenzpunkten kalibriert werden, um die Anzahl der erforderlichen Sensoren und Geräte zu minimieren.
Moderne Halbleiter erfordern präzise Messungen
Feinere Geometrien und dichtere Schaltkreise erfordern eine präzise RF-Leistungssteuerung. Durch die Wartung von RF-Generatoren mittels regelmäßiger Prüfungen und Kalibrierungen wird sichergestellt, dass sie optimale Leistung erbringen. Die Fachkompetenz von Advanced Energy im Bereich der Erzeugung und Messung von Hochleistungs-RF-Signalen ist der Schlüssel zur Konsistenz und Wiederholbarkeit bei der Prozesssteuerung. Die Kalibrierungen unserer RF-Leistungsmesser der Serie 5500 sind nach ISO 17025 akkreditiert und basieren auf der außergewöhnlichen Genauigkeit der Kalorimeter von Advanced Energy.