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プラズマプロセスと材料
アドバンスドエナジーはプラズマ処理と材料ソリューションの先駆者であり、その豊富な専門知識により半導体製造の水準を高めています。当社は、エッチング、蒸着、炭化ケイ素処理などのハイテク製造プロセスの複雑さを簡素化するために細心の注意を払って作られた専門製品を提供しています。当社の電源とマッチャーの精度と信頼性は、安定したプラズマの生成と維持に役立ち、均一なエッチング速度と蒸着速度を実現します。
プラズマプロセスと材料への応用
成膜
AEは、プラズマパワーデリバリー、温度測定、温度制御、ウェハ制御ソリューションなど、半導体成膜のための総合的なポートフォリオを提供しています。
エッチング
アドバンスドエナジーの高精度プラズマパワーデリバリーシステムは、高い再現性と歩留まりを実現するために、エッチングプロセスを厳密に制御します。
Silicon Carbide Crystal Growth
SiC is used in many different technologies that require a high thermal conductivity, low thermal expansion, and a maximum current density.
プラズマ処理および材料ソリューションでイノベーションを促進
Advanced Energyは、半導体製造の標準を高めるために設計された高性能プラズマプロセスおよび材料ソリューションのパイオニアとして、当社の広範な専門知識を活用してきました。当社の専門製品は、エッチング、蒸着、炭化ケイ素処理などの重要な工程を含む、様々な複雑なハイテク製造工程を合理化するために設計されています。当社の高精度、高信頼性の電源とマッチングネットワークは、安定した効率的なプラズマ生成と維持のために設計されており、安定したエッチング速度と蒸着速度を実現します。この精密な制御は、最終製品の高い品質と均一性を特徴とする優れた製造成果を達成する鍵です。炭化ケイ素（SiC）パワーデバイスの製造に深く入り込み、私たちは知識と技術を活用して、この専門分野のリーダーになりました。SiCデバイスは、そのユニークな電気的・熱的特性により、パワーエレクトロニクス、自動車、再生可能エネルギー産業など、さまざまな分野でますます重要性を増しています。当社の洗練された電源システムは、SiC製造プロセスのかつてない制御を可能にし、それによって欠陥を最小限に抑え、優れた性能を保証します。
当社のソリューションは効率的な冷却を実現し、厳しい動作条件下でもデバイスの寿命と信頼性を向上させます。精密な電力制御と効率的な熱管理という2つのアプローチは、先端材料加工技術の限界を押し広げるという当社の揺るぎないコミットメントを示すものであり、最終的には、めまぐるしく変化する半導体業界におけるお客様の成功と成長をサポートします。
炭化ケイ素（SiC）パワーデバイスの製造に深く入り込み、私たちは知識と技術を活用して、この専門分野のリーダーになりました。SiCデバイスは、そのユニークな電気的・熱的特性により、パワーエレクトロニクス、自動車、再生可能エネルギー産業など、さまざまな分野でますます重要性を増しています。当社の洗練された電源システムは、SiC製造プロセスのかつてない制御を可能にし、それによって欠陥を最小限に抑え、優れた性能を保証します。
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当社のソリューションは効率的な冷却を実現し、厳しい動作条件下でもデバイスの寿命と信頼性を向上させます。精密な電力制御と効率的な熱管理という2つのアプローチは、先端材料加工技術の限界を押し広げるという当社の揺るぎないコミットメントを示すものであり、最終的には、めまぐるしく変化する半導体業界におけるお客様の成功と成長をサポートします。
